擴(kuò)散泵作為真空系統(tǒng)的主泵已經(jīng)有幾十年的歷史，傳統(tǒng)的真空鍍膜設(shè)備擴(kuò)散泵加熱是用耗電里比較高的電陽(yáng)絲通過(guò)燒紅來(lái)烘烤真空鍋爐《擴(kuò)散泵)底部，從而加熱里面的油來(lái)使真空泵里面的溫度上升來(lái)達(dá)到設(shè)備的工作要求。這種加熱方式使得大部分的里散發(fā)到空氣中，導(dǎo)致熱量損失大，使得工作環(huán)境溫度變高。雖然電爐盤制作成本低廉，但存在著:加熱速度慢、容易斷絲、加熱效能下，能耗量大等諸多缺點(diǎn)。還有導(dǎo)線接入?yún)^(qū)域溫度過(guò)高觸電,區(qū)域極易氧化以及人身觸電的的危險(xiǎn)。

目前采用電磁加熱方式它可以大大改變這種現(xiàn)象。在實(shí)際使用中，擴(kuò)散泵需要在一定的壓力范圍內(nèi)，快速穩(wěn)定高效的運(yùn)行，對(duì)于擴(kuò)散泵加熱，采用電磁加熱有著一定的優(yōu)勢(shì)

一、高效快捷

電磁加熱速度快、熱效率高、相比電爐盤加快了1/3設(shè)備的啟動(dòng)時(shí)間，大大提高了工作效率，也就是省電比電爐盤30%以上。

二、溫度控制精度高：采用電磁感應(yīng)方法加熱，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)擴(kuò)散泵的精確控制和實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)，大大提高了穩(wěn)定性和可靠性。

三、安全環(huán)保：電磁加熱無(wú)需燃燒任何燃料，沒(méi)有廢氣產(chǎn)生，不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染.

四．當(dāng)擴(kuò)散泵底部需要降溫的時(shí)候，電爐盤由于自身發(fā)熱再傳遞給泵底，如果需要降溫時(shí)電爐盤雖然斷電了，但是本身還是有很高的溫度，這個(gè)時(shí)候就需要人工去把電爐盤拉出來(lái)放在外部自然冷卻；改用電磁加熱器就不需要這個(gè)環(huán)節(jié)，因?yàn)殡姶偶訜釥t盤線圈是產(chǎn)生渦流使擴(kuò)散泵底部自身加熱，電磁加熱爐盤本身沒(méi)有溫度，溫度到了斷電，本身也沒(méi)有余熱。

五．使用壽命

擴(kuò)散泵電磁加熱爐盤采用耐高溫銅芯線制作，使用壽命至少5年以上，電爐盤由于長(zhǎng)時(shí)間處于高溫，容易燒斷電熱絲，一年應(yīng)該要換幾個(gè)。

電磁加熱實(shí)施方案

1.確定加熱模式和參數(shù)：通過(guò)擴(kuò)散泵溫度傳感器采集到擴(kuò)散泵表面和內(nèi)部的溫度信息，然后根據(jù)固定的加熱模式和參數(shù)對(duì)實(shí)際加熱情況進(jìn)行控制。

2.設(shè)計(jì)電磁加熱器：根據(jù)擴(kuò)散泵的形狀和尺寸，設(shè)計(jì)合理的電磁加熱器的大小和形狀，并選用適當(dāng)?shù)碾姶鸥袘?yīng)加熱裝置。

3.安裝和調(diào)試：安裝電磁加熱器、傳感器和控制器等設(shè)備，并調(diào)試擴(kuò)散泵加熱系統(tǒng)，確保其良好的工作狀態(tài)。

因此，無(wú)論是在節(jié)能上，還是在安全和使用壽命上，變頻電磁加熱器均更高一籌。